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電源介紹
INTRODUCTION OF POWER SUPPLY
PST系列射頻電源主要應用于等離子體、太陽能電池、顯示屏制造等領域,以其優良的控制算法、對功率的精確控制、穩定可靠的持續輸出,能夠適用于豐富多樣的等離子體應用。
電源特點
CHARACTERISTICS OF POWER SUPPLY
東方四通
東方四通
  • 東方四通
    采用模塊化設計,按照行業標準設計。
  • 東方四通
    高穩態功率輸出。
  • 東方四通
    最大效率可達 80%。
  • 東方四通
    0.5W 的最小功率控制精度。
  • 東方四通
    脈沖輸出功能集成。
  • 東方四通
    Arc 抑制功能集成。
  • 東方四通
    自動頻率調諧。
  • 東方四通
    豐富的通訊接口。
  • 東方四通
    控制指令快速響應。
技術參數
TECHNICAL PARAMETER


型號
PST-AM5K-13MA
PST-AM10K-13MA
供電參數
供電電壓24VDC / 87-264VAC24VDC / 87-264 VAC
供電頻率50/60HZ(45-65)Hz50/60Hz(45-65)Hz
功率參數

輸出功率
5kW10kW
標稱功率
5kW10kW
輸出頻率
13.56MHz±0.5%13.56MHz±0.5%
反射功率
5w or<1% of forward power5w or<1% of forward power
通信接口
接口
模擬量輸入,RS232/RS485,Profibus, DeviceNet

環境


工作環境溫度
+5°C~+45°C+5°C~+45°C
儲存環境溫度-25°C~+55°C-25°C~+55°C

相對濕度

5-85%無冷凝
5-85%無冷凝
氣壓80-106kPa
80-106kPa
其他

防護等級

IP21

IP21
重量外形尺寸

8kg / 368mm x 165mm x 450mm

20kg / 400mm x 230mm x 560mm
冷卻方式

水冷+風冷

水冷+風冷
型號
PST-RF5K-13MAPST-RF10K-13MA
輸入參數

輸入電壓

400V-480V±10%(3+PE,No Neutral)

400V-480V±10%(3+PE,No Neutral)
輸入頻率50/60HZ50/60HZ
輸入功率9KVA18KVA
功率因數90%90%
輸出參數

額定輸出功率5kW
5kW
額定負載阻抗
50Ω50Ω
輸出頻率13.56MHz±0.5%13.56MHz±0.5%
脈沖頻率1Hz-50kHz1Hz-50kHz
功率精度
±1W和設定值的±1%中的較大者±1W和設定值的±1%中的較大者
CEX模式
支持支持
調諧時間
<10ms<10ms
環境

工作環境溫度+5°C-+45°C+5°C-+45°C
存儲環境溫度-25°C-+55°C-25°C-+55°C
相對濕度
5-85%無冷凝
5-85%無冷凝
氣壓
80 -106kPa80 -106kPa
通信接口

接口
模擬量輸入, RS232/RS485,Profibus, DeviceNet
其他

防護等級
IP20IP20
重量30kg50kg
外形尺寸483mmx130mmx500mm483mmx175mmx650mm
效率(50Ω)>78%>75%
冷卻方式

水冷

水冷
冷卻介質溫度

5°C-35°C

5°C-35°C